第二讲
微系统工作原理
微传感器与微驱动器原理（一）
- 前章延伸：MEMS市场前景诱人、设计制造涉及到多学科的科学与工程原理的应用
- 了解这些器件的工作原理对新MEMS器件设计是重要的
- 本章给出的只是器件原理的基本信息
- 注意：所选器件只是由于其设计上巧妙的想法，市场上未必是成功的
- 概念（从能量的角度）：是将能量从一种形式转换成另外一种形式，并且针对特定的待测输入为用户提供一种可用的能量输出的器件。即是指能感受规定的被测量并按照一定规律转换成便于测量的输出信号的器件，一般由敏感元件和转换元件组成。
- 微传感器（Micro-sensor）是微机械的重头产品，在已开发的微机械产品中，微传感器占到90%。微传感器的体积小、功耗低响应快，便于和信号处理部分集成以构成微传感器测试系统，这些特性使其可以应用于汽车、航空航天、电机、医学、家用电器、生物化学、环境监测等广阔领域。
- 微传感器的出现和广泛应用是微电子制造技术扩展应用的结果。这些技术包括光刻、薄膜镀层、化学和离子加工等。它们使得传感器结构得以微型化，从而能在同一基片表面制作大量的传感器，实现批量生产。
- 微型机械量传感器
1 传感原理∶电阻(包括压阻)传感、压电传感、电容传感和隧道传感；
2
微型传感器∶加速度传感器、压力传感器；