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纳米结构铁电膜的制备和物性及微结构表征
下载该文档 文档格式:PDF 更新时间:2011-06-22 下载次数:0 点击次数:1
利用聚焦离子束(FIB)方法(FEI, 200TEMFIB 系统)制备透射电镜的剖面样品. 具体过程如下:首先在样品表面选择合适的区域, 然后在该处沉积2 μm 厚的 Pt 保护层. 在Pt...
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