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  • 绝缘体上硅高温压力传感器研究

    免费下载 下载该文档 文档格式：PDF   更新时间：2010-11-27   下载次数：0   点击次数：2

    采用相同版图结构和工艺制作了多晶硅压力传感器.3. 1 静态和温度特性SOI 压力传感器和多晶硅压力传感器的一些主要静态和温度特性指标列在表 1 中. 采用 1∶2 的膜片宽...

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