22 第 八 卷 第 四 期 毫 微 米 通 訊 田口實驗計畫法簡介（ II ） 丁志華 1、游璨瑋 2、戴寶通 1、朝春光 2 1 國家毫微米元件實驗室 2 交通大學材料科學與工程研究所 一、摘要 本文以旋轉塗佈法製備摻碳氧化矽低介 電常數薄膜，並應用田口實驗 ...

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