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  • 摘要:本文综述了生物/化学微传感器的技术和应用

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    ,详细描述了起源于半导体技术的标准工艺流程 和制造三维机械结构的特殊微细机加工工艺, 给出了基本化学传感器原理和对应的化学/生物传感器 应用实例,最后提出了单片...

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