• 步进式工件输送机设计 > 面向微机电系统组装与封装的微操作装备关键技术研究

  • 面向微机电系统组装与封装的微操作装备关键技术研究

    免费下载 下载该文档 文档格式：PDF   更新时间：2011-11-18   下载次数：0   点击次数：2

    Mechanical Systems, MEMS）产品设计研制过程中. 不可缺少的 ... 工艺要制作将传 感、驱动和机械部件融为一体的复. 杂微系统 .... 要组成部分，主要完成零件的输入、 输送和成品的. 输出。 ... 物料传输. 机构拟采用步进推进式，由滑道、步进推进器等组 ...

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