＝? ? ? ? ? ? ? × + + 1) / 466. 0 4 /() 0975. 0 () 05. 0 5. 0 (1 2 0975. 0 2 2 hr m m hr m µ µ µ ＝0.45 微米 作业 3 问题描述： 在950 摄氏度硅的湿法氧化过程中，得到数据如下表所示： 氧化时间 (hour) 0.11 0.30 0.40 0.50 0.60 氧化厚度 ...

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