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  • DFC 气体质量流量控制器在真空领域中的应用

    免费下载 下载该文档 文档格式：PDF   更新时间：2011-06-22   下载次数：0   点击次数：1

    务不及时、零部件昂贵等因素，严重制约着中国的真空半导体行业及设备的发展。 杜威仪表研发了适用于半导体行业的气体质量流量控制器，并于 2010 年正式推出适用于半导...

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