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  • 共面微波探针在片测试技术研究

    免费下载 下载该文档 文档格式：PDF   更新时间：2011-06-23   下载次数：0   点击次数：1

    摘要：本文描述了使用共面微波探针的半导体芯片在片测试技术. 设计研制出的多种微波探针性能参数稳 定 ，使用寿命在十万次以上 ，用于在片检测各种 GaAs 共面集成电路芯...

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