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低温泵在光学镀膜中的应用
下载该文档 文档格式:DOC 更新时间:2011-12-19 下载次数:0 点击次数:1
扩散泵已经应用在光学镀膜工业上大约30年了,很多人用习惯了,随着对镀膜质量要求的提高,需要更好的真空获得设备。好在我们有了低温泵,它能提供洁净、无油的真空;不...
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