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    半导体制程安全期末考试卷
    卷号:________________学号________________________ 姓名 ____________________
    请自右边选择能代表左边意义的专有名词或简称(答错不倒扣):每题 2 分,共 30 分
    1.
    ( )
    低压化学蒸气沉积
    (1).
    Polysilicon
    (16).
    Photolithograph
    2.
    ( )
    电荷耦合元件
    (2)
    Silane
    (17)
    Wafer
    3.
    ( )
    光阻剂
    (3)
    ULSI
    (18)
    CCD
    4.
    ( )
    导线架
    (4)
    Lead frame
    (19)
    HEPA
    5.
    ( )
    氧化金属半导体
    (5)
    FET
    (20)
    Ingot
    6.
    ( )
    复晶矽

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