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  • 第六章 溅射物理

    免费下载 下载该文档 文档格式：DOC   更新时间：2011-10-20   下载次数：1   点击次数：1

    第六章 溅射物理 我们知道具有一定能量的离子入射到固体表面上时，它将同表面层内的原子不断地进行碰撞，并产生能量转移。 ... 1969年，Sigmund 在总结了大量的实验工作的基础上，对Thompson的理论工作进行了推广，建立了原子线性级联碰撞 ...

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